大阪分子泵控制器作為真空系統(tǒng)的“智能大腦”，其應(yīng)用緊密圍繞對(duì)高真空、超高真空環(huán)境有苛刻要求的工業(yè)與科研領(lǐng)域，常用于半導(dǎo)體制造、平板

顯示制造、光學(xué)與表面處理、尖端科研與實(shí)驗(yàn)、通用工業(yè)與研發(fā)等領(lǐng)域中；由于環(huán)境的特殊和嚴(yán)苛性，大阪分子泵與控制器必須要進(jìn)行周期性保養(yǎng)。

而我們常修的該類大阪控制器常見報(bào)警有10或13或43等，面對(duì)此類報(bào)警我們都有全方位的技術(shù)診斷和維修，修復(fù)故障也能做到滿速測(cè)試，做到讓客

戶放心與滿意的服務(wù)。

常見故障與排查方法

當(dāng)分子泵系統(tǒng)出現(xiàn)問題時(shí)，可以參考以下思路進(jìn)行初步排查：

故障現(xiàn)象 可能原因 排查與解決思路

控制器報(bào)警 電源問題、控制器硬件/軟件故障、分子泵本身故障 查看報(bào)警信息；檢查電源電壓電流；檢查控制器硬件（如電容器、連接器）和軟件；

檢查分子泵電機(jī)、閥門等部件。

無法達(dá)到規(guī)定真空度 系統(tǒng)存在泄漏（如源O形圈滲漏）、前級(jí)泵效率差、分子泵內(nèi)部污染 檢查系統(tǒng)密封性，更換老化密封件（如O形圈）；檢查前級(jí)

泵工作狀態(tài)；若泵內(nèi)部污染，可能需專業(yè)清洗。

分子泵無法啟動(dòng)或達(dá)到全速 轉(zhuǎn)子卡死（軸承損壞）、電源或信號(hào)問題、負(fù)載過大 手動(dòng)撥動(dòng)葉片檢查是否靈活；檢查控制器是否收到正確信號(hào)；檢查

系統(tǒng)真空度，排除負(fù)載過大情況。

運(yùn)行噪音過大 軸承磨損、動(dòng)平衡失調(diào) 若泵運(yùn)行多年，軸承可能磨損，建議送修檢測(cè)。專業(yè)維護(hù)需校正動(dòng)平衡。

運(yùn)行中頻率或轉(zhuǎn)速反復(fù)波動(dòng) 負(fù)載太大，系統(tǒng)真空度不夠 檢查真空系統(tǒng)是否存在泄漏或氣體負(fù)載過大。

油色變黑或油池異常 冷卻不良導(dǎo)致過熱、負(fù)載過大 檢查冷卻系統(tǒng)（水冷需注意水溫和流量）。檢查系統(tǒng)負(fù)載。

定期保養(yǎng)步驟詳解

定期的預(yù)防性保養(yǎng)能有效避免許多故障，延長(zhǎng)設(shè)備壽命。

1. 日常維護(hù)

清潔與檢查：保持設(shè)備表面清潔，定期檢查電纜連接是否牢固。

監(jiān)控運(yùn)行狀態(tài)：注意觀察泵的噪音、振動(dòng)是否有異常變化，監(jiān)控運(yùn)行溫度是否在正常范圍內(nèi)。

2. 定期更換消耗品

潤(rùn)滑油棉：對(duì)于復(fù)合軸承分子泵，建議每年更換一次潤(rùn)滑油棉，以保持軸承良好潤(rùn)滑和散熱。如果發(fā)現(xiàn)油棉變黑、發(fā)黃，應(yīng)及時(shí)更換。

密封件（O形圈）：在每次打開泵進(jìn)行維護(hù)時(shí)，如發(fā)現(xiàn)密封件老化或損壞，應(yīng)及時(shí)更換以確保真空密封性。

3. 專業(yè)深度保養(yǎng)

建議每3至4年或根據(jù)實(shí)際運(yùn)行情況，將分子泵送至專業(yè)機(jī)構(gòu)進(jìn)行一次全面的保養(yǎng)。深度保養(yǎng)通常包括全面清洗：使用超聲波清洗轉(zhuǎn)子和定子葉片及腔體，徹底清除污染物。

更換核心部件：更換全套陶瓷軸承、油棉等消耗品。精密檢測(cè)與校正：進(jìn)行動(dòng)平衡校正至高標(biāo)準(zhǔn)（如G0.16）、測(cè)試極限真空度和啟動(dòng)時(shí)間、進(jìn)行振動(dòng)頻譜分析以及氦質(zhì)譜檢漏。