靶材（Target Material）是濺射工藝中的關鍵材料。其作用是通過高能離子轟擊，將靶材原子或分子剝離并轉移到襯底表面，形成特定功能的薄膜。直流電源通過施加恒定電壓，使陰極（靶材）相對于陽極（基體或系統接地）帶負電，形成一個電場。氬氣離子（Ar^+）在電場作用下加速，轟擊靶材表面，濺射出靶材原子，沉積到基體表面。通快HUTTINGER霍廷格為眾多高科技行業提供所需的工藝電源，憑借出色的精度、能效和高工藝穩定性，已成為等離子體高科技應用的市場領導者。所產電源廣泛用于太陽能電池、半導體、平板顯示、光學鍍膜、裝飾鍍膜、工具鍍膜及大面積玻璃鍍膜等行業的沉積、刻蝕工藝。電源種類有:等離子體中頻電源、等離子體脈沖直流電源、等離子體直流電源、等離子體射頻電源。

我司有自行研發的霍廷格成套測試系統，維修后可達到現場使用同等條件，測試3x8個小時負載合格后才按流程出貨。直流電源常見故障有:通電無顯示、主電源欠壓或過壓、電源缺相、控制電源異常、過溫、通訊丟失、無法啟動、輸出功率不夠、輸出電壓電流不穩等。中頻電源常見故障有:通電無顯示、交流斷開、無法啟動、負載短路、振蕩器模塊損壞、功率模塊故障、輸出頻率偏低或偏高、輸出功率偏低或偏高、輸出電流偏低或偏高、輸出電壓偏低或偏高、輸出不平衡、輸出不匹配、過溫、CAN總線錯誤等。射頻電源常見故障有:通電無顯示、無法啟動、過溫、系統故障、通訊故障、功率模塊故障、反射功率偏高、入射功率偏低、輸出功率不穩定、振蕩信號異常等。